摘要:
七星气体质量流量计套件由质量流量计,流量显示器组成。量程范围广,从2SCCM~2000SLM可任意选择。
产品应用
质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
气体质量流量计连接图
气体质量流量计侧面图
气体质量流量计显示
★高性能价格比
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★管状分流,使用寿命长
产品型号 |
定制 |
产品类型 |
普通型,抗电磁干扰 |
流量量程 |
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
产品精度 |
±1.5%F.S. |
重复精度 |
±0.2% FS |
线性 |
±1%F.S. |
响应时间 |
≤10sec |
工作温度范围 |
(5~45)°C |
耐压 |
3MPa |
密封材料 |
氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
输入输出信号 |
(0~5)VDC |
电源 |
±15V |
阀类型 |
常闭 |
温度系数 |
|
零点飘移指标 |
- 无 - |
电气连接 |
D sub 15 pins Female |
工作压差范围 |
(0.1~0.5) MPa |
漏率 |
1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He) |
标准接头形式 |
双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
表面化学成分 |
- 无 - |
表面粗糙度 |
- 无 - |
抗电磁干扰 |
CE |
重量 |
1.1Kg |